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分子泵
持有单位: 上海裕达实业有限公司
关键词: 大抽速高真空度,任意角度安装,智能化控制 先进程度: 国内领先
应用领域: 电子装备 发布日期: 2019-09-18 09:19:25
所属地域: 信息来源: 上海裕达实业有限公司
联系人: 联系电话: 黄涛18012868728
产品简介
性能参数

型号 250/2000 入口高真空法兰 250ISO-K/250CF 入口抽速(L/s) 2000 极限真空(Pa) 6×10-7/8×10-8 压缩比 N2:109,H2:104 前级管道(排气口法兰) KF40 启动压强(Pa) <100 振动值(μm) <0.1 额定转速(rpm) 24000 启动时间(min) 6 停机时间(min) 10 建议前级泵抽速(L/s) 15 冷却方式 水冷 冷却水流量(L/min) 1 冷却水水嘴 内径Φ10直插自密封 冷却水温度(℃) <25 最高允许入口法兰烘烤温度(℃) ≤120 环境温度(℃) 5-45 轴承 精密陶瓷球轴承 润滑方式 脂润滑 安装方向 任意角度 泵体重量(Kg) 35

功能介绍

分子泵是获得高真空的重要组成部分,广泛应用于航空航天环境模拟、分析仪器、半导体行业、生命科学、新能源、电子显微镜、镀膜行业和科学研究等行业。 分子泵工作原理:主要部件是旋转动片和固定静片,多级串联组成,即动片、静片、动片、静片……,按次序交替排列,高速旋转的动片和气体分子碰撞,气体分子碰到静片之后再次飞向下一个旋转动片,最终被弹向排气口,气体分子从吸气侧运动到排气侧的几率设计a,气体分子从排气侧运动到吸气侧的几率是b,使得a>b,实现抽气功能。 自主研制的脂润滑分子泵具有智能化自动保护、安全性高、任意角度安装、振动小等优点,可以获得洁净的高真空环境。

其他备注