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PZT压电电极制作
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关键词: PZT压电材料 MEMS电极 硅 先进程度:
应用领域: 电子信息 发布日期: 2019-12-18 09:49:57
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产品简介

 在硅基底上生长PZT压电电极,与贵金属薄膜形成MEMS电极。主要需求包括:1)压电电极在硅片上稳定形成,不易脱落;2)电极的几何尺寸控制在长宽高不超过5cm*5cm*100um(高度上可以变高);3)电极具备较好的力学柔性,包括可拉伸与弯曲,易产生形变等;4)基于压电原理

性能参数
功能介绍
其他备注

有  效  期: 2019-12-20


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